ピラニ真空計

ピラニ真空計システムは、熱伝導率の原理を利用して真空圧を測定します。 温度センサとしても機能する加熱フィラメントを使用し、正確な真空圧測定を可能にします。 最も広く使用されている真空計の1つであるこのシステムは、半導体製造、医療機器、医薬品、食品加工など、正確で信頼性の高い真空測定が重要な産業で一般的に採用されています。 同じ熱伝導率の原理が熱フローセンシングにも応用され、この技術の幅を広げています。

このシステムは、24ビットΔΣADC、16ビットDAC、励起電流源を統合した高精度アナログフロントエンドを備えたMCUを特徴としています。 この設計により、最小限の外付け部品でコンパクトかつ高精度のピラニ真空計が可能になりました。

このシステムのメリット：

• 最大125kSPSサンプリングレートの24ビットΔΣADCを使用した温度と電力の高速・高精度測定
• 16ビットDACによる電流制御が可能
• RXv2コアの内蔵FPUを利用したデジタル温度制御