特長
- 気体・液体媒体の測定
- 堅牢な固体分離技術
- 目詰まりの原因となる空洞を持たないMEMSセンサ
- 高い耐振動 / 耐圧力衝撃性能
- 低消費電力のアプリケーション
- 高速応答
- ミリボルト出力
- ヒーター電源電圧:3V~5V DC
- 動作温度範囲 0 ℃ ~ +85℃
説明
FS1012 は、フローハウジングを備えた基板にMEMS フローセンサを搭載した製品です。6ピンの標準ヘッダーがMEMSフローセンサに直接接続されています。
FS1012 は非腐食性のガスまたは液体媒体を測定することができます。センサはサーモパイル・センシングを利用しており、優れたS/N比を実現し、低電力が要求されるアプリケーションに最適です。低流量でも高感度であり、応答速度も非常に高速です。
上流と下流のサーモパイルのセットは、シングルエンド回路で独立して使用することも、差動構成で接続することも可能です。
| 型名 | 状態 | サンプル | 在庫 | パッケージ | Lead Count (#) | Carrier Type | Description | Flow Rate (SLPM) | Pb (Lead) Free | Pb Free Category | Temp. Range (°C) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| FS1012-1001-LQ | Obsolete | N/A | 在庫切れ | MODULE | 0 | Tray | Liquid, 0 to 0.5 SLPM | 0.5 | Yes | e0 | 0 to 85°C |
| FS1012-1002-LQ | Obsolete | N/A | 在庫切れ | MODULE | 0 | Tray | Liquid, 0 to 1.0 SLPM | 1 | Yes | e0 | 0 to 85°C |
| FS1012-1020-NG | Obsolete | N/A | 在庫あり | MODULE | 0 | Tray | Gas, 0 to 2 SLPM | 2 | Yes | e0 | 0 to 85°C |
| FS1012-1100-NG | Obsolete | N/A | 在庫切れ | MODULE | 0 | Tray | Gas, 0 to 10 SLPM | 10 | Yes | e0 | 0 to 85°C |
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- アプリケーションノート英語PDF 135 KB R36AN0015EU0100 Rev.1.00 2023年6月26日AI生成コンテンツ: Thermal flow sensors measure fluid flow rates by detecting heat transfer changes caused by fluid movement across a micro-heater and temperature sensors. Accuracy depends on factors such as fluid composition, ambient temperature, pressure, humidity, and flow profile. Variations in fluid thermal properties or environmental conditions can alter sensor readings. Calibration is specific to certain fluids, with conversion factors available for others. Proper sensor placement and flow conditioning improve measurement reliability despite turbulent or laminar flow variations.
- ホワイトペーパー英語PDF 478 KB 7WDXRDKU4E7E-5-62488 2017年11月15日Reviewing the rise of MEMS-type thermal mass flow sensors, the paper highlights their advantages over traditional designs, including high sensitivity, miniaturization, scalability, and lower cost through calorimetric technology. Porous silicon with a silicon carbide coating increases robustness for use with various gases and liquids.
- 製品概要英語PDF 236 KB 7WDXRDKU4E7E-6-61552 2018年8月23日
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- ホワイトペーパー英語PDF 478 KB 7WDXRDKU4E7E-5-62488 2017年11月15日Reviewing the rise of MEMS-type thermal mass flow sensors, the paper highlights their advantages over traditional designs, including high sensitivity, miniaturization, scalability, and lower cost through calorimetric technology. Porous silicon with a silicon carbide coating increases robustness for use with various gases and liquids.
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2017年7月27日
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