2021年3月20日

2021年3月19日に「半導体製造工場(那珂工場)の火災発生に関するお知らせ」として、同日午前2時47分に、ルネサス エレクトロニクス株式会社(代表取締役社長兼CEO:柴田 英利、以下、当社)の生産子会社であるルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング株式会社の那珂工場(茨城県ひたちなか市)のN3棟(300㎜ライン)の一部工程において、火災が発生した旨をお知らせしました。火災は同日中に鎮火しております。現時点(2021年3月20日午後9時)の情報をご報告いたします。

改めまして、近隣住民の皆さま、お客様、関係企業の皆さま、関係当局の皆さまなど多くの方々に多大なるご心配とご迷惑をおかけしていることを深くお詫びいたします。

1.発生場所

茨城県ひたちなか市堀口751

ルネサス セミコンダクタ マニュファクチュアリング株式会社 那珂工場N3棟(300㎜ライン)1階

2.発生日時および現況(更新箇所に下線しています)

3月19 日(金)午前2時47分頃 火災発生 その後、消防、警察、他関係機関へ連絡

3月19 日(金)午前8時12分頃 消防により、火災の鎮火を確認

3月20日(土)午前9時頃 警察および消防による現場検証を開始

3月20日(土)午後1時頃 現場検証終了

3.被害状況(更新箇所に下線しています)

  • 従業員の人的被害はありません。
  • 建屋の被害はありませんが、純水供給装置や空調装置など一部用役設備および一部製造装置に被害が出ています。
  • 警察および消防による現場検証が終了し、出火元がN3棟(300㎜ライン)の一部工程である、めっき装置であるということが特定されました。同装置の筐体およびめっき槽は熱への強度が相対的に低く、過電流が発生したことにより発火に至ったものです。ただし、過電流が発生した原因や発火に至った経緯については調査中です。
  • 焼損面積は約600㎡で、N3棟(300㎜ライン)1Fのクリーンルーム面積(12,000㎡)の内、約5%に相当します。
  • 焼損した製造装置は、11台でN3棟(300㎜ライン)の全製造装置の約2%に相当します。
  • N3棟(300㎜ライン)は生産を停止しています。生産再開の目途は判明次第お知らせします。
  • N2棟(200㎜ライン)とWT棟(ウェハテスト工程)は稼働中であり、製品出荷を継続しています。
  • 仕掛品の被害および業績等への影響は現時点で不明であり、精査中です。

当社は、今後も地域の安全確保に努め、引き続き、消防、警察をはじめとした関係当局のご協力のもと、徹底した原因究明を行い、再発防止に取り組んでまいります。

以上


ニュースリリースに掲載されている情報(製品価格、仕様等を含む)は、発表日現在の情報です。 その後予告なしに変更されることがございますので、あらかじめご承知ください。

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