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省エネによる温暖化防止

地球温暖化の防止を図るため、当社国内グループは、半導体業界の活動に積極的に参画し、電機・電子業界目標および省エネ法におけるエネルギー原単位の削減目標の達成に向け、さまざまな省エネ活動を継続的に推進しています。

 

エネルギー削減活動概要

当社国内グループは、2013年度から電機・電子業界で取り組んでいる「低炭素社会実行計画」活動に参加しています。「低炭素社会実行計画」活動では、2012年度の値を基準値とし、基準値から2020年度まで売上高エネルギー原単位を年率1%削減していき、2020年度には2012年度との比率で92.27%とすることを目標としています。

 

2018年度削減結果

2018年度実績は、基準年比で36%削減できました。また、2017年度と比べて2ポイント減少しました。これはさまざまな省エネ施策の効果と、工場の統廃合による集約により売上高エネルギー原単位の削減は進んでいます。

2019年度も引き続き省エネ施策を推進するとともに、事業活動に見合ったエネルギーの効率的な使用に努め、エネルギー削減・地球温暖化防止に取り組んでまいります。

画像:売上高エネルギー原単位の推移

※2012~2015年度:4月~3月(12カ月)
 2016年度:4月~12月(9カ月)
 2017、2018年度:1月~12月(12カ月)

売上高エネルギー原単位の推移

主なエネルギー削減施策

生産ラインでは、省エネ法におけるエネルギー削減目標への対応も考慮して、エネルギー原単位の5年平均年1%以上削減を目指した活動を行っています。

具体的には、機器の高効率化、インバータ制御化、自然エネルギー・気化エネルギーなどの施策を省エネ効果、投資効果を考慮しながら計画的に実施しています。さらに、生産量の変化に応じて設備稼働の最適化も実施しています。

項目 詳細
①機器の高効率化
  • 冷凍機更新、最適制御
  • コンプレッサ更新、台数制御
  • ボイラー更新
  • ドライポンプ更新
②モーターのインバータ化 (回転制御) 空調機用ファン、各種ポンプ
③自然エネルギー
 エネルギー再利用
 気化エネルギーなど
  • 冬期フリークーリング
  • 廃熱回収・再利用
  • 水スプレー加湿

省エネ施策の導入例

温室効果ガスの排出量削減

当社グループでは、主に半導体製造工程で反応チャンバーのクリーニングガスとして温室効果ガスの一つである PFC※1ガスを使用しています。これらのガスは分解されにくく、地球温暖化係数(GWP※2)は約7千から2万以上と高いため、その排出量削減を重要な課題とし、PFCガスの排出削減目標を設定して地球温暖化防止に積極的に取り組んでいます。PFCガスによる温室効果を削減する方法として、①GWPの小さいガスへの変更、②工程を最適化することによるPFCガスの使用量削減、③PFCガスを分解するための除害装置の設置などがあります。当社グループではこれら3つの手法を組み合わせることで、排出量の目標を2010年までに1995年実績の90%以下にするための技術開発を行ってきました。

2018年も従来の目標を継続し、削減活動を推進してきました。生産量の影響はありますが、ウエハ面積排出量原単位は2015年比0.031ポイント減少し、総排出量は1995年実績の約17%としました。今年度は、RSMC西条工場にてPFCガスを分解する燃焼除害設備※3を導入し、同工場のPFCガス排出量を2%削減するなど、着実に成果を挙げています。2019年以降も、さらなる排出量削減に取り組みます。

※1 PFC:Perfluoro Compounds:パーフルオロ化合物(半導体業界ではCHF3、CF4、C2F6、C3F8、C4F8、SF6 and NF3を指定しています)

※2 GWP:Global Warming Potential:地球温暖化係数 (CO2を1とした時の係数)

※3 複数の製造装置から排出されるPFCガスをまとめて分解させる燃焼除害システム

画像:温室効果ガス削減の模式図

温室効果ガス削減の模式図

 

半導体業界の削減対象PFC 7ガスと温暖化係数

半導体業界の削減対象PFC 7ガスと温暖化係数※4

※4 IPCC 2006年度版(IPCC : Intergovernmental Panel on Climate Change : 国連気候変動に関する政府間パネル)

グラフ:PFCガス購入量と排出量の相対値推移

※1995~2018年:1月~12月集計

PFCガス購入量と排出量の相対値推移

排出量削減の取り組み事例:RSMC西条工場

画像:RSMC西条工場 燃焼除害システム

RSMC西条工場 燃焼除害システム

図:PFC除害装置の構造例(燃焼方式)

PFC除害装置の構造例(燃焼方式)[大陽日酸(株)様ご提供]

化学物質管理

当社グループは、グリーン調達や法規制情報に基づく化学物質データベースを基盤として各種アセスメントを実施しています。さらに使用している化学物質の総量を把握するとともに、有害性という観点から使用量と排出量を管理し、削減に努めています。このようにしてグリーン製品やエコファクトリーにつながる研究・開発を行っています。PRTR※1法やVOC※2対象物質については、少量部分の取扱量まで正確な収支管理を行い、収支結果は行政へ報告するだけでなく、解析し、化学物質の代替化や排出量削減に向けた活動にフィードバックしています。

※1 Pollutant Release and Transfer Register:特定化学物質の環境への排出量の把握等および管理の改善の促進に関する法律(化学物質排出量把握管理促進法)

※2 Volatile Organic Compounds:揮発性有機化合物

※数値は1~12月(12カ月)集計、1トン未満は四捨五入しています。
( )の数値は2017年度収支結果。

画像:2017年度PRTR対象物質収支結果

2018年度PRTR対象物質収支結果

※3 当社グループが費用を負担するリサイクルを含みます

VOC 排出量削減活動

当社グループでは、イソプロピルアルコールやキシレンなどのVOCについては、有機系排ガスを処理する設備にて可能な限り無害化したのちに工場から放出しています。また、製造プロセスの最適化や効率的な生産設備の運用を行い、継続してVOC排出量削減に取り組んでいます。

2018年度VOC 排出量は、2000年度比約27%となり、これまでの対策が継続して成果を挙げています。今後も引き続き、当社グループは製造プロセスのさらなる最適化などにより、VOCの排出量削減に積極的に取り組んでいきます。

グラフ:VOC排出量の推移

※2000~2015年度:4月~3月(12カ月)
 2016年度:4月~12月(9カ月)
 2017~2018年度:1月~12月(12カ月)

VOC排出量の推移

有機フッ素化合物への対応

当社グループでは、半導体製造工程で界面活性剤として有機フッ素化合物を含む材料を使用しております。近年、有機フッ素化合物は環境中での残留性や生体蓄積性、長距離移動性が懸念されており、POPs条約※1など国際的に規制が強化されている中、当社グループでは技術部門と連携しながら順次、環境負荷の低い材料への切り替えを進めています。

※1 POPs条約 : Stockholm Convention on Persistent Organic Pollutants 残留性有機汚染物質に関するストックホルム条約

水資源節約

当社国内グループは、水を積極的にリサイクルし、活用することで、水資源の節約を行っています。

2018年度の実績は、年間給水量16,371千m3、リサイクル率36.8%となりました。

グラフ:必要給水量とリサイクル率

必要給水量=再利用水量+給水量

リサイクル率=再利用水量÷必要給水量

※2012~2015年度:4月~3月(12カ月) 2016年度:4月~12月(9カ月) 2017~2018年度:1月~12月(12カ月)

必要給水量とリサイクル率

物流面の環境活動

当社国内グループは、物流関連の環境活動(製品や廃棄物の運搬など輸送で消費されるエネルギーの削減、製品の包装材削減と再使用の推進 等)に取り組んでいます。

当社国内グループは、省エネ法(荷主義務)への対応から、輸送に係るCO2排出量削減を推進しています。2019年度以降も引き続き輸送エネルギーの削減に取り組んでいきます。

年度 ルネサスエレクトロニクス グループ会社合計
2014 765 万トンキロ 505 万トンキロ
2015 636 万トンキロ 502 万トンキロ
2016 387 万トンキロ 291 万トンキロ
2017 472 万トンキロ 365 万トンキロ
2018 391 万トンキロ 333 万トンキロ

※2014~2015年度:4月~3月(12カ月)
 2016年度:4月~12月(9カ月)
 2017~2018年度:1月~12月(12カ月)

国内輸送量

廃棄物管理

当社国内グループは、廃棄物のリサイクルはもとより、廃棄物そのものの排出量抑制に努めております。

2018年度の排出量実績は、15,285トンとなり、毎年継続して削減を図っています。

また、産業廃棄物処理委託先を定期的に訪問し、委託した産業廃棄物が適正に処理されていることを確認しています。

PCB使用機器については、法令に基づいた厳重な保管・管理・届出を実施しています。また、法令の期限内での安全・確実な全量処理を目指し、高濃度PCB※1含有廃棄物は中間貯蔵・環境安全事業株式会社(JESCO)に処理を委託、低濃度PCB含有廃棄物は無害化処理認定施設に処理を委託する国の基本計画に基づいた処分を推進しています。

※1 PCB:Polychlorinated Biphenyl:ポリ塩化ビフェニル

グラフ:廃棄物排出量の推移

※2012~2015年度:4月~3月(12カ月)
 2016年度:4月~12月(9カ月)
 2017~2018年度:1月~12月(12カ月)

廃棄物排出量の推移

オゾン層の保護

当社グループは、モントリオール議定書のグループⅠ(CFC※1など)およびグループⅡ(HCFC※2)の対象となるオゾン層破壊物質(ODS※3)については、製造工程での使用を全廃しています。

さらに、冷凍機や冷蔵庫、エアコンなどで使用されている冷媒用のフロンについてもモントリオール議定書の規制に合わせて計画的に使用量の削減、代替物質への切り替えを推進するとともに対象機器の廃棄時にはODSを回収し、破壊処理の実施を徹底しています。

  • ※1 CFC:Chlorofluorocarbons
  • ※2 HCFC:Hydrochlorofluorocarbons
  • ※3 ODS:Ozone-depleting substances

土壌汚染防止の取り組み

有害な化学物質が土壌に浸透することにより、土壌に有害な化学物質が蓄積され、人の健康、農作物、生態系などへの影響が懸念されています。当社グループでは土壌へ有害な化学物質が浸透することを未然に防止する対策を毎年計画的に行っております。

当社グループは、2018年度の土壌汚染未然防止の施策として、以下を実施しました。

  • 廃液回収設備漏洩対策工事(川尻工場、西条工場)
  • 薬液漏洩対策工事(西条工場)
  • 地下浸透防止対策工事(那珂工場、武蔵事業所)

など

画像:地下浸透防止対策工事(武蔵事業所)施工前

地下浸透防止対策工事(武蔵事業所)施工前

画像:施工後

施工後