瑞萨电子质量流传感器模块使用热传递(热量计)原理,测量穿过传感器表面的气体或液体流量。 该流量传感器采用一系列可提供高灵敏度的 MEMS 热电偶,或热电堆。 MEMS 传感元件的固体热隔离与碳化硅薄膜提供卓越的耐磨性与长期可靠性。 某些版本还提供额外的聚对二甲苯涂层。 瑞萨电子提供已校准、线性化 (FS2012) 以及未校准、非线性曲线输出版本,以实现设计灵活性。 这些质量流量传感器是工业过程控制、医疗保健和医疗应用的理想之选。

  • 具有多种外形尺寸,用途广泛
  • 在低流量下具有高灵敏度
  • 采用食品级材料,经美国国家卫生基金会 (NSF) 认证,可用于饮水应用
  • 固态热电堆传感采用无硅空腔技术,可避免过压的发生
  • 3VDC 至 5VDC 低压
产品型号 描述 数据表 订单
FS1012 未校准输出 - 气体或液体 pdf_icon_for_table.png 立即购买
FS2012 校准输出 - 气体或液体 pdf_icon_for_table.png 立即购买
FS1023-DG 气体流量传感器模块,0 到 35 SLPM pdf_icon_for_table.png 立即购买
FS1025-DG 气体流量传感器模块,0 到 150 SLPM pdf_icon_for_table.png 立即购买
FS1027-DG 气体流量传感器模块,0 到 200 SLPM pdf_icon_for_table.png 立即购买

此类传感器没有活动部件,并涂有一层硅碳化硅涂层,且某些版本还涂有额外涂层。 这提供了出色的抗冲击性,并可避免典型化学品对传感器元件的损坏——这是其他常见传感器架构的固有问题。 对这些问题的重视使得瑞萨电子的解决方案尤为适用于注重可靠性、坚固性和交叉污染因素的医疗、工业和与符合 FDA 标准的食品级消费类应用。

瑞萨电子流量传感器模块以灵活的模块配置,提供全球顶级的性能和可靠性,适用于多种气体和液体流量应用。 这些设备尤为适用于给药、静脉滴注的监测和氧气/麻醉测量。 这些设备的商业应用包括监测饮料机中的水或饮料流量,以及过程设备中的空气或气体流量。

瑞萨电子的高性能流量传感器(流量计)模块产品系列可测量气体或液体流量。 其创新的固态传感器元件设计消除了通常存在于其他传感器中的硅空腔和隔膜,并涂有保护性的碳化硅涂层,使其成为一种极为坚固可靠且兼容食品级应用的流量传感器元件。

瑞萨电子提供未经校准的独立式流量传感器模块,以及具有数字 I2C 和模拟输出的完全校准版本。 校准后的流量传感器模块可提供典型读数 ±2% 的气体或液体测量精度。

由于腔内没有活动部件,也没有易碎的隔膜,该设计解决了传感器元件堵塞和流体压力敏感性问题,并可提供卓越的抗冲击性能。 此外,碳化硅涂层可防止化学品对传感器元件的损害。 关于液体和气体质量流量传感器

关于液体和气体流体质量流传感器

流量传感器也被称为流量计,用于测量流经模块预设横截面处的气体或液体的流速和总体积。 这些测量在各类应用中均至关重要,这些应用包括饮水机、流体监测器、氧气监测器和过程设备中的气体流量监测。

瑞萨电子基于 MEMS 的气体流量计和液体流量计模块包含一个电阻式加热器,以及两组热电偶(热电堆),各位于加热器的上下对称位置。 热电堆的输出随流速而变化;与从加热器中测得的热量成正比。 热电堆的模拟输出通常被转换为可供系统处理器使用的校准数字输出信号。