概览

质量流量控制器可测量流体的质量和流速，并控制流速。可用于半导体制造设备和燃烧器中的气体控制。RX72M 32 位微控制器 (MCU) 配有大容量的内置存储器、EtherCAT 以及CAN接口。利用该参考设计，可以用一个芯片控制系统和工业网络。

系统优势

  • RX72M MCU 配备有 EtherCAT 从控制器和 CAN，可以支持工业网络
  • 提供工业网络解决方案，包括 EtherCAT 和 DeviceNet 示例软件
Mass Flow Controller